トラブルシューティング¶

まず GUI 左下の 通信ログ（logs/gui_YYYYMMDD.log）を見て、どのコマンドで何が返ってきたかを確認してください。

接続できない¶

症状	対処
オシロ：接続できない、「接続中」なのに設定が反映されない	リソース名を `VICP::<オシロの IP>::INSTR`（IP は内部情報）にする。オシロ本体の Utilities → Utilities Setup → Remote で、制御方式（TCPIP (VICP) または LXI (VXI11)）と IP を確かめる。ping が通れば VICP で接続できるはず。接続時に `*IDN?` の応答を検証し、応答がなければ VICP ⇔ VXI-11 を自動で試した上でエラーになる
ステージ：ping は通るのに接続がタイムアウトする	TCP ポート番号が本体の設定と違う。接続先の欄に `<ステージの IP>:<ポート>` の形で、内部情報の値を入れる。前のセッションが接続を占有しているときは、コントローラを再起動する。接続できても無応答なら、SHOT 互換モード・デリミタ (CRLF) を確認する
ステージ：ネットワーク変更後に ping が通らない（オシロは通る）	制御 PC のサブネットマスクが 255.255.255.0 か確かめる（機器側の初期設定）。SHRC-203 側のサブネットマスク・ゲートウェイが PC と同じネットワークになっているか、本体の設定を確かめ、設定を変えたらコントローラの電源を入れ直す（再起動まで反映されない）。同じ IP の機器が他にないかは、PC のターミナルで `arp -a` を見て確かめる。アドレスは内部情報
レーザー：接続できない	デバイスマネージャで COM 番号を確認する（制御 PC は COM5）。FTDI VCP ドライバが入っているか確認する
カメラ：映らない	[デバイス] 番号を変えてみる（既定 0）

信号が出ない・おかしい¶

症状	考えられる原因	対処
信号がまったく出ない	レーザーが発振していない	レーザーパネルの状態表示が赤帯の「発振: ON」か確認する
	ビームが電極（金属）の上にある	ジョグで Y を数十 µm ずらしてシリコン上に置く
	バイアスがかかっていない	LV 6.0 V、HV（33 °C で −190〜−195 V）。LV は OUTPUT が青色に点灯しているか、HV は赤ボタンでバイアス ON になっているかを確認する
	水平オフセットが違う	[★ 標準設定を一括適用 ★] で −53 ns にする
波形は更新されるのに平坦	周波数を変えて TUNE が発振閾値を下回った（TRIG OUT は出続ける）	TUNE 最適化をやり直す。簡易確認なら TUNE を auto にする
振幅が想定と違う	カメラ用照明が ON のまま、周波数が 1 MHz でない、アライメントがずれている	照明を OFF、1 MHz・TUNE 50 % を確認。それでも違えば TUNE 最適化で合わせる
スキャンで電極の上の信号が 0 まで落ちない、電極端の立ち上がりがなだらか	デフォーカス、または座標のずれ	原点出し（Z の確認）をやり直す

ステージ・位置合わせ¶

症状	対処
「機械座標: 不明」と出て、登録原点へ移動できない	GUI が機械座標を追跡できていない（JS-301 から M-ORG した、コントローラを再起動した、原点復帰を途中で止めた等）。GUI から [機械原点復帰 (H:W)] を実行する
原点出しが「明確なディップがありません」「明確なエッジがありません」で止まる	ビームが基準ストリップ上で端から 50〜200 µm 内側にあるか、レーザーが ON か、信号が見えているかを確かめて再実行する
「谷が浅すぎます」・Z の谷を特定できない	Z 範囲を ±30〜50 µm に広げる、カメラで粗くフォーカスを合わせてから再実行する
フル較正の Z 残差が数 µm を超える、係数が前回から大きく変わった	再実行するか、スキャンの Z 追従を「実測 Z」方式にする
原点出し・フル較正の後に右カラムが横に広がる、傾き係数の表示が古い	旧版の不具合（2026-10 改修で修正済み）。最新版を使う
ジョグの向きがカメラ画像と合わない	カメラやステージの取り付け向きを変えた。`config_local.json` の `stage_screen_dir` を直す

スキャン¶

症状	対処
「保存ファイルが増えていません」で中断した	オシロ側のファイル数が 2 点続けて増えないと、自動で止まる。オシロの Save Waveform 設定と保存先フォルダを確かめる
スキャンログに `timeout` が並ぶ	時間内に取得が終わっていない。レーザーが ON か、EXT トリガーが掛かっているかを確かめる。[アベレージング OFF] のチェックを外していないかも見る
開始時に「Z が 30 µm 以上離れている」警告	意図どおりか確認する。原点出しをしていない・Z 追従の方式が違う可能性がある

データ回収¶

症状	対処
SSH 接続に失敗する	オシロが起動していて ping が通るか、オシロ側の OpenSSH サーバが動いているか、パスワードが正しいかを確かめる
「競合」が報告された	PC 側に同名でサイズが違うファイルがある。上書きはされないので、どちらが正しいか確認して手動で整理する
スキャン中に転送できない	仕様（排他）。スキャン終了後に転送する

カメラ¶

症状	対処
画像が真っ暗、または真っ白	カメラパネルの [ゲイン] を調整する（効いたかは通信ログの実値で確認できる。実値が変わらなければカメラ側が非対応）。直らなければ、照明の明るさとレンズの絞りを調整する

一般的な TCT のトラブル¶

他の TCT 装置にも共通するトラブル

症状	考えられる原因	確認・対処
波形が振動する（リンギング）	インピーダンス不整合、配線が長い	50 Ω 終端、ケーブル・ワイヤーボンドを短くする
波形が飽和・クリップする	アンプやオシロの入力レンジ超過	縦軸レンジを広げる、レーザー強度を下げる
強度を変えると波形の形が変わる	生成電荷が多すぎる（プラズマ効果）	レーザー強度を下げる
ノイズが大きい	グラウンドループ、外来ノイズ	グラウンドを 1 点にまとめる、シールドを確認する
信号が時間とともにドリフトする	レーザー強度・温度の変動	基準点を定期的に測り直す
リーク電流が急増する	ブレークダウン	ただちに電圧を下げる

追記のお願い

実際に遭遇したトラブルと解決方法を、ぜひこのページに追記してください（Wiki の編集方法）。