標準設定値一覧

測定の標準条件と GUI の既定値の一覧です。値の出典は config.py（2026-07 実測で確定した標準条件）と GUI のソースコードです。

センサー・バイアス

項目	値	備考
HV（センサーバイアス）	−190〜−195 V（センサー温度 33 °C のとき）。温度によって変える。上限 −220 V	Matsusada P4L650-0.1、手動。GUI のステータスバーの参考値は −185 V
LV（読み出しボード）	6.0 V（固定）	Rohde & Schwarz NGP800 シリーズ、手動。CH1
電流制限	HV 1.0 mA、LV 1.0 A	正常時の電流：HV 0.4〜5 µA 程度（表示 0.0 mA）、LV 約 0.450 A
投入順	他の機器の電源の後、LV → HV	他の機器の電源は順不同
読み出し	C1=J8、C2=J7、C3=J6、C4=J5	標準センサー

オシロスコープ（[★ 標準設定を一括適用 ★] の内容）

項目	値
トリガー	ソース EXT、結合 DC、スロープ POS、レベル 410 mV
タイムベース	1 ns/div
水平オフセット	−53 ns（表示範囲 +48〜+58 ns）
縦軸	C1〜C4：50 mV/div、オフセット +100 mV（表示範囲 −300〜+100 mV）
入力結合	DC 50 Ω（D50）
アベレージング	OFF
サンプリング	10 GS/s（解析ノートの設定）

レーザー

項目	値	備考
トリガーソース	internal (ts=0)	レーザーが基準クロック
繰り返し周波数	1 MHz	2026-11-01 版から GUI の標準（プリセットの表示は「1 MHz (標準)」）。旧版の初期値は 1.25 MHz だった
TUNE	manual 50 %	1 MHz で MIP 相当に調整済み。0 % が最強、100 % が最弱
一括設定	[★ 標準設定を適用 (1 MHz / TUNE manual 50% = MIP 相当) ★]	上の 3 つ（internal・1 MHz・manual 50 %）をまとめて送る。config.py の laser_freq_hz、laser_tune_auto、laser_tune_percent が元の値
カメラ用照明	測定中は OFF	暗室内で手動操作
TUNE 最適化：単一 CH の目標	200 mV（PKPK）
TUNE 最適化：隣接 2ch 合計の目標	64 mV	DESY ビームテスト (2026) のストリップ中間の MIP 相当値
TUNE 最適化：許容誤差 / 粗掃引 step	±1 mV / 2 %	精密掃引は 0.5 % 刻み

ステージ

項目	値
移動量	2 µm/pulse（X・Y・Z、確認済み）
速度	起動 1000 pps、最高 10000 pps（= 20 mm/s）、加減速 200 ms
ジョグのステップ	2, 4, 10, 20, 50, 100, 500, 1000, 5000 µm

アライメント

項目	値
Z フォーカス	範囲 ±20 µm、step 2 µm、方式「振幅最小 (焦点)」
Z 測定の位置	電極中心から 80 µm 横のシリコン上
X エッジ検出の位置	電極中心から 50 µm 横
X の設計オフセット（信号エッジ → 外枠エッジ）	632 µm
精密仕上げ	1 パルス（2 µm）刻み、1 点 4 回読み（中央値）、検証は最大 2 回
フル較正の測定点（標準センサー）	X = −5.3, −9.9 mm、Y = C2, C4

傾き係数（標準センサーの既定値）

係数	値
dZ/dX	−0.02 µm/mm
dZ/dY	+3.79 µm/mm
dY/dX	+7.67 µm/mm

自動スキャン

項目	既定
高速軸 Y	+750 → −2250 µm、10 µm 刻み
低速軸 X	−632 → −9999 µm、500 µm 刻み
1D + TUNE の位置ステップ	50 µm（モード選択時に自動変更）
TUNE 掃引	50 → 90 %、5 % 刻み
シーケンス	2000 セグメント/点
整定時間 / タイムアウト	0.5 s / 60 s
Z 追従	較正係数 (論理原点で合焦)
回転追従 (Y)	ON
蛇行 (往復) スキャン	ON（2D）
prefix	scan
開始時にレーザー ON / 終了時にレーザー OFF	OFF / ON

ネットワーク・接続

機器	アドレス
制御 PC・オシロ・ステージ・NAS	LAN。IP アドレスとユーザー名は 内部情報（パスワード付き）
オシロスコープ	VICP
レーザー PiLAS DX	COM5（19200 baud、8N1、CR 終端）
カメラ	デバイス番号 0