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スキャンの種類(一般論)

このページは一般論です

TCT で一般に行われるスキャンの紹介です。広島の装置(AC-LGAD + laser_gui)で実際に行うスキャンは 自動スキャン を見てください。 特に 焦点の決め方が一般論と逆 になる点に注意してください。広島の AC-LGAD では、焦点が合うほど ゲインが抑制されて振幅が 小さく なるので、「振幅最小の Z = 焦点」とします (位置合わせ 参照)。

フォーカススキャン

ビームの焦点(ビームウェスト)の位置を決めるためのスキャンです。

  1. 金属電極の端(ナイフエッジ)をまたぐように \(x\) 方向にスキャンする。
  2. 信号(振幅または電荷)を位置の関数として誤差関数でフィットする。

    \[ S(x) = \frac{A}{2}\left[1 + \operatorname{erf}\!\left(\frac{x - x_0}{\sqrt{2}\,\sigma}\right)\right] + C \]
  3. これを光軸方向 \(z\) の各位置で繰り返し、\(\sigma\) が最小になる \(z\) を焦点とする。

ビーム幅は \(\text{FWHM} = 2\sqrt{2\ln 2}\,\sigma \approx 2.355\,\sigma\) で表すこともあります。

Tip

Edge-TCT では、センサーの表面・裏面(深さ方向の端)を使って同様に焦点サイズを評価できます。

位置スキャン(XY スキャン)

照射位置を 1 次元または 2 次元に走査して、応答の位置依存性を調べます。

  • ストリップ間・ピクセル間の電荷共有
  • LGAD のゲイン層の一様性、パッド間の不感領域 (inter-pad distance)
  • 電極端・ガードリング付近の挙動

Note

金属電極の上はレーザーが透過しないため、信号がゼロになります。 マップを解釈するときはレイアウト図と重ねて確認してください。

バイアススキャン

バイアス電圧を変えながら同じ位置で波形を取得します。

  • 収集電荷 vs バイアス:電荷が飽和する電圧から全空乏化電圧を推定する。
  • 波形の形 vs バイアス:電場分布の変化を確認する。
  • LGAD のゲイン:同じ条件で測った PIN ダイオードとの電荷比 \(G = Q_\text{LGAD} / Q_\text{PIN}\) から求める。

Warning

電圧を上げるときはリーク電流を常に監視し、ブレークダウンの兆候があれば中止してください。

Edge-TCT 深さスキャン

センサーの側面からレーザーを入射し、深さ \(y\) を走査します。複数のバイアスで繰り返すのが一般的です。

  • 各深さの 収集電荷 → 電荷収集プロファイル(空乏層の広がり)
  • 各深さの 立ち上がり直後の電流 → ドリフト速度プロファイル(電場分布)

詳しくは レーザーと照射方式 を参照してください。

温度スキャン

温度を変えながら測定します。リーク電流、トラッピング、LGAD のゲイン(温度が低いほど高くなる)などの温度依存性を調べます。 温度を変えたら、安定するまで十分待ってから測定してください。

レーザー強度スキャン

レーザー強度を変え、信号が強度に比例しているか(線形性)を確認します。 強度が高すぎるとプラズマ効果やアンプの飽和で波形が歪むため、本測定の前に一度行っておくと安心です。