4. 自動スキャン¶
右カラムの 自動スキャンパネル の [スキャン条件] タブで条件を決めて実行します。 座標はすべて 論理原点を基準にした µm で入力します（センサーと座標系）。
![自動スキャンパネルの [スキャン条件] タブ](../../images/gui/scan-conditions.png)
| 場所 | 内容 | 説明 |
|---|---|---|
| [モード] と [センサー既定範囲] | スキャンの種類、範囲を既定値に戻す | モード、範囲 |
| 高速軸・低速軸・TUNE [%] の行 | 開始・終了・ステップ。使わない行は灰色になる | 範囲 |
| 「傾き補正」の枠 | Z 追従の方式、回転追従、いまの係数 | 傾き補正 |
| 整定時間〜保存先・prefix | 1 点ごとの取得条件 | 取得条件 |
| 下段 | 測定点数の見積もり、[スキャン開始]、[中断] | 実行・進捗・中断 |
スキャンの前に¶
- 原点出し（載せ替え後は フル較正）が終わっている
- レーザーが標準条件（★ 標準設定を適用 ★ で 1 MHz・TUNE manual 50 %）か、TUNE 最適化 で合わせた条件になっている
- オシロに [★ 標準設定を一括適用 ★] 済み（チャンネル・トリガー EXT・タイムベースはスキャン前にオシロパネルで設定しておく）
- レーザーが ON（または [開始時にレーザー ON] にチェック）
モード¶
| モード | 用途 | ログのタグ |
|---|---|---|
| 1D 位置スキャン | 高速軸 1 本を動かす。例：ストリップ横断（Y） | 1dY、1dX など |
| 2D ラスタースキャン | 高速軸（Y）× 低速軸（X）で面を走査。[蛇行 (往復) スキャン] が既定で ON | 2dYX |
| 1D + TUNE (各点でエネルギースキャン) | 1 軸の位置 × TUNE の複合スキャン。各位置で TUNE を掃引する（位置が外側のループなので、ステージは位置が変わるときだけ動く）。選ぶと位置のステップが 50 µm に自動で変わる | 1dYtune など |
| TUNE スキャン (固定位置) | 位置を固定して TUNE だけを掃引する | tune |
スキャンしない軸は、開始時の現在位置に固定されます（Z は Z 追従 の方式に従う）。
範囲¶
高速軸と低速軸それぞれの [開始]、[終了]、[ステップ] で指定します。初期値はセンサーごとの既定範囲で、[センサー既定範囲] を押すとこの値に戻ります。
標準センサーの既定範囲：
| 軸 | 開始 → 終了 | ステップ | 意味 |
|---|---|---|---|
| 高速軸 Y | +750 → −2250 µm | 10 µm | C0 の外側半ピッチ → C5 の外側半ピッチ |
| 低速軸 X | −632 → −9999 µm | 500 µm | 露出部の読み出し側端 → 遠端の先（端ギャップ） |
2D ラスタースキャンでは、低速軸 X の既定ステップ 500 µm はストリップの長手方向に粗く並べる設定です。 細かい面スキャンにするときはステップを変え、測定点数の見積もりと所要時間を確かめてください。
ピクセル型センサーの既定範囲は、パッドの角（論理原点）から −X・−Y 方向へ 600 × 600 µm、10 µm 刻み です （高速軸 Y：0 → −600 µm、低速軸 X：0 → −600 µm。ピクセル型センサー）。 2×2 の標準配置なら、4 ピクセルの交点 (−300, −300) が範囲の中央に来ます。
TUNE を掃引するモードでは、[TUNE [%]] の開始・終了・ステップ（初期値 50 → 90 %、5 %）も指定します。
取得条件¶
| 項目 | 既定 | 内容 |
|---|---|---|
| [シーケンス] セグメント数 | 2000 | 1 点あたりのイベント数（2000 seg/点 = 2000 events/step） |
| [整定時間] | 0.5 s | 移動後に待つ時間 |
| [タイムアウト] | 60 s | 1 点の取得完了を待つ上限 |
| [アベレージング OFF] | ON | 外さない。ON のままだと完了判定が働かない |
| [保存先] / [prefix] | 当日の日付フォルダ / scan |
オシロ本体側の保存先とファイル名の prefix |
| [開始時にレーザー ON] | OFF | スキャン開始時にレーザーを自動で ON にする |
| [終了時にレーザー OFF] | ON | 自動で ON にしたレーザーを、終了時・中断時に OFF に戻す |
その下の見積もりの行に、測定点数とイベント総数が出ます（例：測定点数: 301 点 × 2,000 seg = 約 602,000 events）。
手動で ON にしたレーザー
手動で ON にしたレーザーは、スキャンが終わっても ON のままです。終わったら自分で [発振 OFF (ld=0)] を押します。
傾き補正¶
センサーの傾きに追従するための設定です。係数は現在のセンサーのフル較正値（または手動入力値。標準センサーで未較正なら
scan_geometry.py の 2026-08-24 実測値）で、欄の下に表示されます（係数の出典）。
係数の後ろの [...] が出典です。フル較正した直後なら、ここにフル較正の日時が出ているはずです。思っていた出典と違うときは、ツールバーの [センサー] を確かめてください。
回転追従 (Y)¶
ストリップの面内回転 dY/dX に合わせて、X スキャン開始位置を基準に X ごとに Y をずらします。どの X 行でもストリップが同じスキャン Y 座標に現れ、 長手方向の 1D スキャンでもストリップから外れません（標準センサーでは補正なしだと全長で約 72 µm ずれる）。
Z 追従¶
フォーカスを保つための Z の動かし方を 4 つから選びます（x, y は論理座標）。
| 方式 | Z の決め方 | 使う場面 |
|---|---|---|
| 較正係数 (論理原点で合焦)（既定） | \(z = (dZ/dX)\,x + (dZ/dY)\,y\)。平面を論理原点に固定する | 原点出しの直後。開始時のステージ位置によらず同じ Z になる |
| 較正係数 (現在位置で合焦) | 同じ傾きの平面を、開始時の現在位置に固定する | 手動で（Z フォーカス などで）焦点を合わせた位置から始めるとき |
| 実測 Z (始点・終点 / 四隅) | 1D は始点と終点、2D は四隅で実測した合焦 Z を、線形または双線形に補間する | 係数を較正していない DUT や、較正結果が疑わしいとき。簡単で確実 |
| なし | Z を動かさない | Z そのものをスキャンするときなど |
実測 Z 方式の手順¶
- [Z 追従] で実測 Z 方式を選ぶと、始点・終点（2D では四隅）の行が現れる。
- 各行の [移動] でその位置へ XY 移動する。
- Z のジョグか [Z フォーカス] で焦点を合わせる（ビームはシリコン上に置く）。
- [現在Z] で値を取り込む。
値は論理座標の絶対 Z なので、スキャン開始時のステージ位置には依存しません。
実行・進捗・中断¶
- [スキャン開始] を押すと確認ダイアログが出る。測定点数、各軸の範囲、Z の移動範囲、Y のシフト量、保存先 が表示されるので、意図どおりか確かめてから進める。 最初の点の Z が現在の Z から 30 µm 以上 離れていると、ここで警告が出る。
- スキャン開始時は、必ず次の順で自動実行される。
- オシロ設定：アベレージングが ON なら OFF にする → シーケンス設定 → 保存設定
- レーザー設定（[開始時にレーザー ON] 指定時の自動 ON）
- スキャン開始
- 各点では、移動 → 整定待ち → 積算リセット → SINGLE 取得 → 完了待ち → 保存 の順に進む。
- 進捗と残り時間はツールバーに表示される。画面ミラーを動かしておけば、点ごとに直前の取得波形も確認できる （ミラーは点ごとの取得中だけ自動で一時停止し、移動・整定中は再開される）。
- 止めたいときは、ツールバーかスキャンパネルの [中断]、またはツールバー右端の [■ 全停止]。 中断するとステージが止まり、オシロは STOP になる。自動で ON にしたレーザーは OFF に戻る。
データの健全性を最初の行で確認する
ビーム半径は数 µm なので、フォーカスが合っていれば 電極の直上で信号がほぼ 0 に落ち、電極の端で急に立ち上がります。 スキャンの最初の行（横断方向）でこれを確かめてください。0 まで落ちない、または立ち上がりがなだらかなら、デフォーカスか座標のずれを疑います。
保存ファイルの連番¶
保存ファイルの連番は GUI（PC 側）が管理します。点ごとに scan--00042 のような連番を付けて保存するので、ファイル名は
C2--scan--00042.trc のようになり、スキャンログの index 列と常に一致します。
さらに点ごとにオシロ側フォルダのファイル数を検証し、2 点連続で増えなければスキャンを自動で中断 してエラーを表示します
（オシロ内蔵の連番カウンタで同名上書きが起き、全点が消えた事例への対策）。
出力¶
| 出力 | 場所 |
|---|---|
| 波形 | オシロ本体ディスク <scope_save_dir>\<年>\<YYYYMMDD>\scan_<日時>_<タグ>\C<n>--<prefix>--<連番>.trc（1 点・1 CH ごとに 1 ファイル） |
| 座標記録（スキャンログ） | PC 側 logs/scan_<日時>.csv |
スキャンフォルダ名の日時は、PC 側のスキャンログ scan_<日時>.csv と同じなので、両者はこれで対応づけます。
スキャンログの書式は 出力ファイル一覧 を見てください。
波形は次の データ回収 で PC へ移します。
所要時間の目安¶
1 点あたりの時間は、整定時間とシーケンス 2000 セグメントの取得・保存で決まります。確認ダイアログとツールバーに残り時間の見積もりが出るので、それを目安にしてください。
参考：解析ノートの 2D スキャン
解析ノート matome の 2D スキャンでは、取得に 1.7 h（BP）〜17 h（FS）かかったものがあります。長時間のスキャンでは、レーザー強度のドリフト（1.3 %/h 程度）も考慮してください。